据ASML官方公告，2023年NXT：2050i、NXT：2100i光刻体系的出货许可证被吊销，不过这没太多可以忧虑的当地。

  依照ASML的说法，2023年根本交给了我国大陆客户预付的DUV积压订单（至于2024年是否能持续，ASML之前就表明不能确认。）。

  事实上，2023年ASML一向都在向我国客户供给光刻机，其中就包含了NXT:2000i和更先进的DUV类型的产品，且根本交给了我国大陆客户预付的DUV积压订单。

  至于先进的7nm、14nm等先进的EUV光刻机，ASML仍然不能给我国客户出售。

  ASML官网上关于这一台TNXT:1980Di介绍，在分辨率方面，写到是不小于38nm（能支撑到7nm左右），而这是指一次曝光分辨率，事实上光刻机是可以直接进行屡次曝光。